美國mks傳統質量流量控制器 1179C 是一款通用質量流量控制器，設計用于測量和控制各種應用中的氣體流量。1179 Mass-Flo® 控制器的滿量程范圍為 10 sccm 至 20 slm，可提供低至 0.2 sccm 的快速、可重復的流量控制。當連接到合適的壓力傳感器時，它也可以用作壓力控制器。

美國mks C 系列緊湊型超快質量流量控制器 C 系列質量流量控制器 （MFC） 是緊湊、快速響應的型號，使用基于微機電系統 （MEMS） 的流量傳感器，適用于非腐蝕性氣體應用。它的滿量程流速從 15 到 14，000 sccm （N2），控制范圍從滿量程的 0.1% 到 100% 滿量程。提供模擬（0 至 5 VDC）、RS485、PROFINET® 和 Modbus 通信接口。

美國mks P 系列高性能質量流量控制器 P系列高性能多氣體、多量程、熱質量流量控制器專為要求準確性、可重復性和壓力不敏感性的最關鍵過程應用而設計。

美國mks I系列 IP66 級質量流量控制器 I 系列熱式質量流量控制器專為惡劣環境中的質量流量控制器應用而設計，可防水防塵。用于 I 系列質量流量控制器的 IP66 級外殼可保護其免受直接噴水以及多塵環境的影響。

美國mks GM50A和GM51A數控質量流量控制器 GM50A 和 GM51A 數控質量流量控制器提供模擬或 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。數字控制電子設備利用最新的MKS控制算法，在整個設備控制范圍內對設定點做出快速且可重復的響應。典型的響應時間約為 500 毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。